GeH4)描述锗是一种易燃，无色具有特殊的刺激性气体，令人作呕气味。其沸点为 - 90℃。它是不稳定的，当加热至大于330℃可爆炸性分解。规格纯度, %99.999氧气+氩气≤0.5 ppmv氮气≤2.0 ppmv二氧化碳≤2.0 ppmv一氧化碳≤1.0 ppmv甲烷≤1.0 ppmv水分≤1.0 ppmv乙锗烷*≤20.0 ppmv氢气*≤50.0 ppmv
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