什么是靶材？
靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，通过更换不同的靶材（如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。
目前，（纯度）溅射靶材按照化学成分不同可分为：
1）金属靶材（纯金属铝、钛、铜、钽等）。
2）合金靶材（镍铬合金、镍钴合等）。
3）陶瓷化合物靶材（氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等）。
按开关不同可分为：长靶、方靶、圆靶。
按应用领域不同可分为：半导体芯片靶材、平面显示器靶材、太阳能电池靶材、信息存储靶材、具改性靶材、电子器件靶材、其他靶材。
金属靶材的铝、钛、铜、钽，在半导体晶圆制造中，200mm( 8寸）及以下晶圆制造通常以铝制程为主，使用的靶材以铝、钛元素为主。300mm( 12寸）晶圆制造，多使用先进的铜互连技术，主要使用铜、钽靶材。
Inconel625是什么材质
Inconel625 是一种对各种腐蚀介质都具有优良耐蚀性的低碳镍铬钼铌合金。由于碳含量低并经过稳定化热处理，即使在650-900℃高温保温50 小时以后仍然不会有敏化倾向。供货状态为软化退火态，其应用范围包括湿腐蚀环境，并且获得了应用于-196 ～450℃温度压力容器的TÜV 认证。另有性能略作调整的适用于高温应用领域。
特性
1、 对氧化和还原环境的各种腐蚀介质都具有非常出色的抗腐蚀能力
2、 优秀的抗点腐蚀和缝隙腐蚀的能力，并且不会产生由于氯化物引起的应力腐蚀开裂
3、 优秀的耐无机酸腐蚀能力，如硝酸、磷酸、硫酸、盐酸以及硫酸和盐酸的混合酸等
4、 优秀的耐各种无机酸混合溶液腐蚀的能力
5、 温度达40℃时，在各种浓度的盐酸溶液中均能表现出很好的耐蚀性能
6、 良好的加工性和焊接性，无焊后开裂敏感性
7、 具有壁温在-196～450℃的压力容器的制造认证
8、 经美国腐蚀工程师协会NACE 标准认证（MR-01-75）符合酸性气体环境使用的最高标准等级VII
应用领域
软化退火后的低碳合金广泛的应用于化工流程工业，较好的耐腐蚀性和高强度使之能作为较薄的结构部件。可以应用于接触海水并承受高机械应力的场合。
典型应用领域：
含氯化物的有机化学流程工艺的部件，尤其是在使用酸性氯化物催化剂的场合
用于制造纸浆和造纸工业的蒸煮器和漂白池
烟气脱硫系统中的吸收塔、再加热器、烟气进口挡板、风扇（潮湿）、搅拌器、导流板以及烟道等
用于制造应用于酸性气体环境的设备和部件
乙酸和乙酐反应发生器
硫酸冷凝器
Inconel625合金是以钼铌为主要强化元素的固溶强化型镍基变形高温合金，具有优良的耐腐蚀和抗氧化性能，从低温到980摄氏度均具有良好的拉伸性能和疲劳性能，并且耐盐雾气氛下的应力腐蚀。因此，可广泛用于制造航空发动机零部件、宇航结构部件和化工设备。
1.2、应用领域
●含氯化物的有机化学流程工艺的部件，尤其是在使用酸性氯化物催化剂的场合
●用于制造纸浆和造纸工业的蒸煮器和漂白池
●烟气脱硫系统中的吸收塔、再加热器、烟气进口挡板、风扇（潮湿）、搅拌器、导流板以及烟道等
●用于制造应用于酸性气体环境的设备和部件
●乙酸和乙酐反应
相近牌号、化学成分与标准
2.1、相近牌号
UNS NO6625 Inconel625(美国)、 NC22DNb(法国)、/.Nr.2.4856(德国)
2.2、执行标准
GJB 1953-1994 《航空发动机转动件用高温合金热轧棒材规范》
GJB 2611-1996 《航空用高温合金冷拉棒材规范》
GJB 2612-1996 《焊接用高温合金冷拉丝材规范》
GJB 3020-1997 《航空用高温合金环坯规范》
GJB 3165-1998 《航空承力件用高温合金热轧和锻制棒材规范》
GJB 3782-1999 《航空用高温合金棒材规范》
HB 5198-1982 《航空叶片用变形高温合金棒材》
物理性能
3.1、 密度
ρ=8.4g/cm3
3.2、熔化温度
1290~1350℃
加工和热处理
5.1、工艺性能与要求：
GH3536合金可以通过传统生产工艺制造和加工，适合于冷、热加工和机加工，但由于具有高强度，冷、热加工时需要大功率的加工设备。
5.2、加热
1、 在热处理之前及热处理过程中应始终保持工件清洁。
2、 在热处理过程中不能接触硫、磷、铅及其它低熔点金属，否则材料会脆化，应注意清除诸如标记漆、温度指示漆、彩色蜡笔、润滑油、燃料等污物。
3、 燃料中的含硫量越低越好，天然气中的硫含量应少于0.1%，城市煤气中硫含量应少于0.25g/cm3，重油中硫含量应少于0.5%。
4、 考虑到温度控制和保持清洁的需要，可以在电加热炉中加热，或使用气体较纯的燃气加热炉。
5、 也可以在箱式炉或燃气炉中加热，但炉气必须洁净并以中性至微氧化性为宜，应避免炉气在氧化性和还原性之间波动，加热火焰不能直接烧向工件。
5.3、热加工
1、GH3625(GH625)的热加工温度范围1150℃～900℃，冷却方式为水淬或其他快速冷却方式。
2、为得到zui佳性能和耐腐蚀性，热加工后要进行退火处理。
3、 加热时，材料可以直接送入已升温zui高工作温度的炉子中，保温足够的时间后(每100mm 的厚度需要60 分钟保温时间)迅速出炉，在规定的温度范围的高温段进行热加工。当材料温度降到低于热加工温度时，需重新加热。
5.4、冷加工
1、 冷加工材料应为退火态， 的加工硬化率比奥氏体铬镍不锈钢大，因此需要对加工设备进行挑选。
2、 冷加工时，需进行中间退火。
3、 当加工量大于15%时，热加工后要进行退火处理。
5.5去氧化皮及酸洗
合金的表面氧化物和焊缝周围的焊渣的附着性比低合金不锈钢更强，推荐使用细晶砂带或细晶砂轮进行打磨。
Inconel625镍基高温合金材料
Inconel625特性及应用领域概述（勃西曼特钢摘录）：
该合金是以钼铌为主要强化元素的固溶强化型镍基变形高温合金，具有优良的耐腐蚀和高氧化性能，从低温到980℃均具有良好的拉伸性能和疲劳性能，并且耐盐雾气氛下的应力腐蚀。因此，可广泛用于制造航空发动机零部件、宇航结构部件和化工设备。
Inconel625相近牌号：
NS336、 GH3625、 GH625(中国)、 NC22DNb(法国)、W.Nr.2.4856(德国) 、0Cr20Ni65Mo10Nb4、N06625
Inconel625 金相组织结构：
该合金在固溶状态的组织为奥氏体基体和少量的TiN、NbC、和M6C相,经650~900℃长期时效后，所析出的相为γ'、δ、M23C6和M6C。
Inconel625 热处理制度：
a棒材、锻件，（1090~1200）℃*（1.5~2）h/WQ
b丝材，（1090~1200）℃≥空冷速率，其中d≤3mm，保温（9~15）min, d3 mm~5 mm,保温（15~20）min;
c热轧板材，（950~1030）℃/AC，HB≤305HV
d焊接件，应力退火：（1080~1100）℃≥空冷速率，其中d≤3mm，保温（9~15）min, d3 mm~5 mm,保温（15~20）min;
e管材，（960~1030）℃/AC或WQ
Inconel625工艺性能与要求：
1、该合金具有良好的冷、热成形性能，钢锭锻造加热温度1120℃。
2、该合金的晶粒度平均尺寸与锻件的变形程度、终锻温度密切相关。
3、合金的焊接性能良好，可在保护气氛下用钨极或本合金作添料进行氩弧焊接，也可用钎焊连接及电阻缝焊。
焊接建议采用AWS A5.14焊丝ERNiCrMo-3或AWS A5.11焊条ENiCrMo-3
4、表面处理工艺：除去合金表面氧化皮时先碱洗，再在硝酸、氢氟酸-水溶液中酸洗。
5、合金冷加工时当加工量大于15%时，热加工后要进行退火处理。
Inconel625应用领域：
含氯化物的有机化学流程工艺的部件，尤其是在使用酸性氯化物催化剂的场合；
用于制造纸浆和造纸工业的蒸煮器和漂白池；
烟气脱硫系统中的吸收塔、再加热器、烟气进口挡板、风扇（潮湿）、搅拌器、导流板以及烟道等；
用于制造应用于酸性气体环境的设备和部件；
乙酸和乙酐反应发生器；
硫酸冷凝器等。
Inconel625焊接：
Inconel625合金的焊接建议采用AWS A5.14焊丝ERNiCrMo-3或AWS A5.11焊条ENiCrMo-3
Inconel625主要规格：
Inconel625无缝管、Inconel625钢板、Inconel625圆钢、Inconel625锻件、Inconel625法兰、Inconel625圆环、Inconel625焊管、Inconel625钢带、Inconel625直条、Inconel625丝材及配套焊材、Inconel625圆饼、Inconel625扁钢、Inconel625六角棒、Inconel625大小头、Inconel625弯头、Inconel625三通、Inconel625加工件、Inconel625螺栓螺母、Inconel625紧固件
Inconel625/alloy625是Ni-Cr基固溶强化型变形高温合金，是以钼、铌为主要强化元素的固溶强化型镍基变形高温合金，使用温度950℃，从低温到980℃均具有良好的拉伸性能和疲劳性能，加工和焊接性能良好，合金具有优良的耐腐蚀和搞氧化性能，并且耐盐雾气氛下的应力腐蚀。因此，Inconel625/alloy625可广泛用于制造航空发动机零部件、宇航结构部件和化工设备。可供应各种板材、棒材、管材、和锻件。
Inconel625/alloy625特点性能：Inconel625/alloy625合金无论在海洋还是非海洋腐蚀速度都很小，抗海水腐蚀性能好，耐各种盐类溶液腐蚀，对HNO3、H3PO4有良好的耐腐蚀能力，对加热至沸点以下的HCl和低浓度H2SO4也有相当抗力，合金在550-700℃长期使用后时效硬化现像，可导致Inconel625/alloy625合金塑性有一些下降。
Inconel625/alloy625执行标准：UNS、ASTM、AISI、DIN 、GB/T14992。
Inconel625/alloy625对应牌号：国标牌号：NS3306,NS336,GH3625,GH625，0Cr22Ni60Mo9Nb4，德标牌号：2.4856.NiCr22Mo9Nb，美标牌号Inconel625/alloy625，N06625。
Inconel625/alloy625化学成分： 碳C：≤0.10 ，硅Si：0.50 ，锰Mn：≤0.50 ，磷P：≤0.015 ，硫 S：≤0.015 ，镍Ni：余量，铬Cr：20~23，钼Mo：8.0~10.0 ，铁Fe：≤5.0，铝AL：≤0.40，钛Ti：≤0.40，铌Nb：3.15-4.15，铜Cu：≤0.070。
Inconel625/alloy625加工为焊接：此合金高温变形抗力大，一般加工温度在1170度，大变形在1010~1170度，微变形可在930度以上进行，冷加工冷成型操作良好。热处理一般在1093~1204度。焊接性能良好。
Inconel625/alloy625物理性能：密度: 8.44，无磁性，熔点1288~1349，比热容：410~460 J/kg.K，热导率：0.92~1.74 W(m.K）。
Inconel625/alloy625规格：采用真空感应炉+电渣重熔熔炼工艺，冷扎薄板4mm-5mm,热扎板4mm-14mm,棒8mm-300mm,管6mm-150mm供货状态：棒材不经过热处理经磨光或车光供应，板材经固溶酸洗平整切边供应。管为固溶酸洗或光亮退火供应。
Inconel625/alloy625应用：可用以航空设备，也可用于海水的点蚀，耐氯化物应力腐蚀，耐F-H3PO4等，如制造壁薄的容器和管件、耐蚀管道、反应器、换热器和阀件等。
Inconel625 (NO6625)
Incone l625特性及应用领域概述：
该合金是以钼铌为主要强化元素的固溶强化型镍基变形高温合金，具有优良的耐腐蚀和搞氧化性能，从低温到980℃均具有良好的拉伸性能和疲劳性能，并且耐盐雾气氛下的应力腐蚀。因此，可广泛用于制造航空发动机零部件、宇航结构部件和化工设备。
Incone l625相近牌号：NS336 GH3625 GH625(中国)、 NC22DNb(法国)、W.Nr.2.4856(德国)
Inconel625 金相组织结构：
该合金在固溶状态的组织为奥氏体基体和少量的TiN、NbC、和M6C相,经650~900℃长期时效后，所析出的相为γ'、δ、M23C6和M6C。
Inconel625工艺性能与要求：
1、该合金具有良好的冷、热成形性能，钢锭锻造加热温度1120℃。
2、该合金的晶粒度平均尺寸与锻件的变形程度、终锻温度密切相关。
3、合金的焊接性能良好，可在保护气氛下用钨极或本合金作添料进行氩弧焊接，也可用钎焊连接及电阻缝焊。
4、表面处理工艺：除去合金表面氧化皮时先碱洗、氢氟酸-水溶液中酸洗。
5、合金冷加工时当加工量大于15%时，热加工后要进行退火处理。